PECVD等離子體化學氣相沉積系統

1. 清洗鍍膜一氣呵成，杜絕二次污染；

2. 上開啟式結構，方便觀察試樣；

3. 產品采用全自動控制方式，觸摸屏，數字化顯示；

4. 設備一體化程度高；

5. 穩定的射頻電源，均勻的溫度分布，提高成膜質量；

產品型號 NBD-PECVD1200-80TI

電氣規格 AC220V    4KW

可達溫度 1200 ℃

連續溫度 1150℃

可達加熱速率 ≤  20 ℃/分鐘

射頻電源 300或500W   13.56MHz

爐管尺寸 Φ80*1200mm

PECVD等離子體化學氣相沉積系統

控制系統  

1、NBD-101EP嵌入式操作系統中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機對話模式，實時加熱功率顯示，非線性式樣溫度修正；實驗報告自主生成，實驗數據無限次導出。

2、實驗過程更加直觀，操作更加便捷；3、具有超溫報警、斷偶提示、漏電保護等功能。

溫度精度 +/- 1 ℃

加熱元件  Mo摻雜的Fe-Cr-Al合金

密封系統    

真空度：≤10Pa（機械泵）

壓力測量與監控  采用數顯真空計，可使設備真空度更加直觀，實驗結果更加準確。

供氣系統  采用兩路質子流量計精確控制氣體流速，與設備集成為一體；

凈重 360KG

設備使用注意事項 

1、設備爐膛溫度≥300℃時，禁止打開爐膛，避免受到傷害；

2、設備使用時，爐管內壓力不得超過0.125MPa（絕對壓力），以防止壓力過大造成設備損壞；

3、真空下使用時，設備使用溫度不得超過800℃。

4、供氣鋼瓶內部氣壓較高，向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在選購試驗用小壓力減壓閥，減壓閥量程為0.01MPa-0.15MPa,使用時會更加精確安全。

5、當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓 相當，保持在常壓狀態；

6、高純石英管的長時間使用溫度≦1100℃

7、加熱的實驗時，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若絕對壓力表讀數大于0.15MPa，必須立刻打開排氣端閥門，以防意外發生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）

服務支持 1年質保，提供終身支持（保修范圍內不包括易耗部件，例如爐管和密封圈等）。